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中國電科48所8英寸碳化硅外延設備再升級

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快訊摘要

【中國電科48所8英寸碳化硅外延設備再升級】證券時報e公司訊，近日，中國電科48所自主研發(fā)的8英寸碳化硅外延設備關鍵技術再獲突破。碳化硅外延爐是第三代半導體碳化硅器件制造的核心裝備之一。...

快訊正文

【中國電科48所8英寸碳化硅外延設備再升級】證券時報e公司訊，近日，中國電科48所自主研發(fā)的8英寸碳化硅外延設備關鍵技術再獲突破。碳化硅外延爐是第三代半導體碳化硅器件制造的核心裝備之一。此次“全新升級”的8英寸碳化硅外延設備，具備更快、更好、更穩(wěn)定的特點，通過改進激光視覺定位、晶圓自糾偏等技術，設備自動化性能更加成熟，提升產(chǎn)品生產(chǎn)效率。設備還成功引入新的摻雜技術，進一步提升產(chǎn)品良率，持續(xù)降低生產(chǎn)成本。